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性能指标和基本配置
工作电压&功率 | AC220V 单相 50/60Hz 100W | |
PLC触摸屏 | ● 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制 | |
ALD进气阀 | ● 对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中) | |
流量控制 | ● 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合 | |
通气管道 | ● 内置不锈钢混气罐 | |
混气罐 | Φ80X120mm | |
截止阀及配件 | 316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管 | |
尺寸 | 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) | |
可选配件 | ● 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情 | |
质量认证 | CE认证 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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