科晶VTC-16-SM 小型高能直流磁控溅射仪
发货地址:北京市
产品数量:1000.00台
价格:¥1000.00 元/台 起
性能指标和基本配置
|
|
|
|
|
|
|
主要参数 | ● 输入电源:220VAC 50/60Hz ● 溅射电流:0-150 mA可调 ● 功率:<2KW ● 输出电压:1600VDC |
溅射腔体 | ● 采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封:采用O形密封圈密封 |
溅射头&样品台 | ● 2英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选(图一) ● 一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,转速可调 (图五) ● 安装有一可手动操作的溅射挡板(图二、三) ● 样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:30-80mm(图二、三) ● 靶头支架,可以在非溅射状态放置溅射靶头(图四) 实验效果 |
控制面板 | 6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度 |
真空系统 | ● 安装有KF25真空接口 ● 数字真空压力表(Pa) ● 此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含) ● 采用机械泵<1.0E-2 Torr(参考值,详情请点击) ● 采用涡旋分子泵<1.0E-5 Torr(参考值,详情请点击) ● 可在本公司选购各种真空泵 |
进气 | ● 含一个控制进气的针阀和一个放气阀 ● 本设备接气需要安装减压阀(可在我公司选购减压阀) |
靶材 | ● 靶材尺寸要求:Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度) ● 适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属(可在我公司选购) |
各种靶材的参数(仅供参考) | 对于溅射各种金属靶材,需要摸索理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(参考值,详情请点击) |
靶材种类 | 真空度(Pa) | 溅射电流(mA) | 时间(s) | 溅射次数 | |
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
可选配件 | ● 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上(见图一) ● 可选加热样品台,高可加热500℃(见图二、三) ● 可选浮子流量计来精确控制进气量(见图四) 图1 图2 图3 图4 |
产品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 520 mm |
净重 | 20 kg(不包含泵及水冷机) |
使用提示 | ● 有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜 ● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 ● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面 ● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分 ● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物 ● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力 ● 此溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射
超声波清洗机 等离子清洗机 大功率磁控溅射仪 手套箱 |
警告 | ● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 ● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 ● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶 |
认证 | CE认证
|
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
![](//l.b2b168.com/2023/04/17/13/202304171322013188684.jpg)
http://1761133366134.b2b168.com