科晶GSL-1700X-HVC9 1700°C九通道混气高真空CVD系统

● 双层钢外壳，带空气冷却。
● 内部有两个冷却风扇，以保持外壳温度<55oC。
● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长炉膛的使用寿命
● 高纯度氧化铝耐火室
● 真空和气体混合系统位于底部带有4个轮子的移动推车。
● 包括真空法兰，仪表，阀门，管道和高真空泵，可立即使用。

6 Kw

AC 208-240V单相，50/60 Hz

8 pcs1800°C级MoSi2

1700 °C（<1小时）

1600 °C

≤5 °C /min

优质氧化铝管美国制造：
●（标配尺寸）（60mm）O.D.x I.D. （54毫米）x 1000毫米长度
●（选配尺寸）（80mm）O.D.x I.D. （74毫米）x 1000毫米长度
●安装两对SS调节支架，以避免管在高温下弯曲。
 

● 加热区长度：457毫米（18"）
● 恒温区长度：150 mm（6“）（+/- 1°C）
注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系

● 一个精密数字温度控制器，可编程50段。
● PID可调，具有自动调谐功能，可确保温度稳定在+/- 1 oC范围内。
● 在每个控制器中提供全面保护，以防止温度过高和热电偶损坏。

内置B型热电偶

● 两个不锈钢法兰，带真空软管和气体接头管。
● 一个法兰安装有KFD-40适配器和球阀。
● 双层高温硅胶O型圈，可在300oC以下使用。
● 包括多孔氧化铝块以保护法兰免受热辐射。

牵引式安装在底壳中的真空泵：
● 一个双步旋转叶片高速机械真空泵 - T2XZ-4C110大 真空压力为10-2torr。
● 一个涡轮分子泵，大。 真空压力为2x10-5torr
● 安装一个精密真空传感器。
● 包括不锈钢软管用于连接管式炉。
● 安装数字真空计/控制器。

● 真空传感器安装在管式炉上的真空法兰上，并连接到数字真空压力显示器。
● 真空控制器和显示器安装在底部移动推车中。
 

● 9个精密质量流量计（CS200）控制器安装在底部移动推车中，数字显示面板为满量程的+/- 1％（精度在满量程的35％-100％范围内）
● 3 MFC，范围0 - 1000scc
● 3 MFC，范围0 - 200scc
● 3 MFC，范围0 - 10 scc
● 将安装一个浮动仪表，仅用于N2气体
● 一个机械压力计安装在底部移动推车中，用于监测混合器中每种气体的压力。
● 9质量流量MFC控制面板/显示器带拨号按钮，可调节气体流量。 请看下面的图片。

软件和界面
 

● SS 316 1/4“管/配件
● SS 316真空针阀
● 移动机柜右侧面板外安装21套不锈钢真空阀，分别控制，真空泵，流动气体和两种进气。
● 请点击此处查看管道连接示意图。
 

炉体：550 x 380 x 520 底部壳体·：600x600x597

约100Kg

200 Lbs