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关于RTP 炉子 | ● 炉体结构: 双层Al2O3纤维钢构,*水冷或风冷, ● 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 ● 加热元件: 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm) ● 加热区: 4"X12" length ( +/-5oC ) ● 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length ● 真空法兰: 不锈钢制作,带有水冷接口和针阀,双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷 ● 循环水流量: 0.5 m3 /hr ● 温控仪: 通过可控硅(SCR) PID 自动控制 ● 带自整定功能的30 程序精确控制 ● 具有过热保护和断偶保护功能 ● 控温精度: +/- 0.5oC ● RS485 接口可与电脑连接 ● 包含软件(要求Window XP/7 系统) ● 快升温速度: 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃ 10oC/sec ● 工作温度: 高1100oC ● 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险) ● 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) ● 重量: 45 kg (100 lbs) |
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结构图 | 可滑动的石英样品架, 可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易 |
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可选 | 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 |
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关于真空泵和气体流量计 | ● 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min , 精度4% FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。 ● 高速真空泵2TW-4C-220v (真空度可达f 10-2 torr). 通过橡胶管与RTP炉子相连. ● 4个不锈钢针阀(移动架的侧面)分别控制3路进气和一路混合气。 ● 4个压力表(移动架的正面)分别显示每路气体和混气的压力。 |
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外形尺寸 | 600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H) |
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重量 | 210 lbs |
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国家** | 一种快速高温退火炉; **编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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